CVD，MOCVD專(zhuān)用氫氣發(fā)生器主要由電解系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)、凈化系統(tǒng)和顯示系統(tǒng)組成，它可以連續(xù)可靠的產(chǎn)生純度很高的氫氣，純度>99.9999%，從而使昂貴且危險(xiǎn)的高壓氫氣鋼瓶*告別實(shí)驗(yàn)室，整個(gè)過(guò)程只需去離子水和供電，即可產(chǎn)生氫氣，一次加水即可持續(xù)工作15天，成本低。
氫氣發(fā)生器的安全、簡(jiǎn)便性能使其替代了危險(xiǎn)的高壓氫氣鋼瓶。氫氣根據(jù)需要適時(shí)適量產(chǎn)生，保持氫氣儲(chǔ)存體積和安全性。 通過(guò)電解水產(chǎn)生氫氣，產(chǎn)生的氧氣則放空進(jìn)入大氣。具有電解面積大、池溫低、性能好、產(chǎn)氣量大、純度高的優(yōu)點(diǎn)。
CVD，MOCVD專(zhuān)用氫氣發(fā)生器的使用方法：
1、開(kāi)機(jī)時(shí)，先用原料氫置換系統(tǒng)，從閥3放空，待系統(tǒng)內(nèi)的高純氮置換干凈后，根據(jù)用戶(hù)的原料氫內(nèi)的含氫量和所需高純氫量，參照表一數(shù)據(jù)，來(lái)選定操作溫度、操作壓力和馳放氣量，然后再通電加熱鈀管，從閥2流出高純氫。
2、調(diào)溫方法，可根據(jù)隨機(jī)所帶的說(shuō)明書(shū)進(jìn)行溫度設(shè)定。從鈀擴(kuò)散制得的高純氫到實(shí)際獲得的高純氫，尚需要置換閥2前管線(xiàn)的一段時(shí)間，通常約需2~3小時(shí)。由于本裝置在出廠(chǎng)前，都要經(jīng)過(guò)產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn)，因此閥1和閥3管線(xiàn)內(nèi)，充有高純氮，閥2到管線(xiàn)前那段管線(xiàn)充有高純氮。當(dāng)設(shè)備停止使用時(shí)，應(yīng)先停電，待裝置冷卻后各閥門(mén)都關(guān)閉再停氣，以便在下次使用時(shí)減少置換系統(tǒng)的時(shí)間。
3、一般認(rèn)為在鈀管厚度一定的情況下，進(jìn)出口壓力差越大，溫度越高，則氫的滲透量越大，但平均壓力以8~3公斤/平方厘米，操作溫度為300~400℃為宜。電壓是否在2.3V左右。
更新時(shí)間：2024-08-15
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